海德漢新一代電子和半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)
海德漢新一代電子和半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)
HEIDENHAIN海德漢高精度和高產(chǎn)出：詳細(xì)了解在HEIDENHAIN 2024半導(dǎo)體活動(dòng)上亮相的電子和半導(dǎo)體生產(chǎn)的全新解決方案。
海德漢全面提高精度：多達(dá)六自由度的編碼器
我們以多自由度技術(shù)為基礎(chǔ)設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)的編碼器可反饋一個(gè)以上自由度的位置。附加的反饋信號(hào)可顯著提高測(cè)量精度，檢測(cè)其它方向運(yùn)動(dòng)的位置誤差并進(jìn)行補(bǔ)償，避免影響系統(tǒng)。采用此創(chuàng)新技術(shù)的編碼器包括PP 6000 Dplus二維編碼器、LIP 6000 Dplus直線編碼器和GAP 1000間隙測(cè)量編碼器。
PP 6000：兩個(gè)測(cè)量方向，達(dá)到更高精
阿貝（Abbé）誤差影響機(jī)床精度。阿貝（Abbé）誤差通常難以測(cè)量，而PP 6000 二維編碼器可測(cè)量此誤差。這款編碼器只需一個(gè)讀數(shù)頭同時(shí)測(cè)量?jī)蓚€(gè)方向，測(cè)量面尺寸達(dá)464 mm x 464 mm，如果需要更大測(cè)量面尺寸，可根據(jù)需要提供。直接測(cè)量刀具中心點(diǎn)，最大限度減小阿貝（Abbé）誤差，提高設(shè)備精度。EnDat 3接口在一條電纜中傳輸兩路位置反饋信號(hào)，因此，可減少電纜數(shù)量和減輕設(shè)置工作。PP 6000 編碼器優(yōu)化運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)性能。
LIP 6000 Dplus : 1條柵尺，1個(gè)讀數(shù)頭，2個(gè)自由度
LIP 6000 Dplus在一個(gè)光柵基體上提供兩條獨(dú)立的光柵刻軌，交叉角為+45°和–45°。專用的掃描場(chǎng)讀數(shù)頭直接掃描每一條光柵，在測(cè)量范圍的全長(zhǎng)上沿X軸主方向和Y軸輔助方向精確進(jìn)行測(cè)量。接口為EnDat 3，因此可用一條電纜將兩組位置值發(fā)給控制系統(tǒng)。顯著簡(jiǎn)化電纜連接，簡(jiǎn)化編碼器安裝和提高運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)動(dòng)態(tài)性能。
輕松檢查設(shè)備精度：基于LIP 6000 Dplus的校準(zhǔn)工具
我們提供以LIP 6000 Dplus為基礎(chǔ)的校準(zhǔn)工具，可用其隨時(shí)檢測(cè)和調(diào)整設(shè)備。設(shè)備的校準(zhǔn)并非日常任務(wù)，用戶可租用我們的校準(zhǔn)工具，這是HEIDENHAIN的一項(xiàng)服務(wù)，用戶無(wú)需購(gòu)買和持有自己的校準(zhǔn)工具。我們提供認(rèn)證的校準(zhǔn)工具，在需要時(shí)可方便地用其檢查系統(tǒng)精度。
GAP 1081: 平面外間隙測(cè)量
海德漢全新的間隙測(cè)量編碼器GAP 1081。可測(cè)量特殊鏡面與讀數(shù)頭間的垂直間隙。因此，可用GAP 1081進(jìn)行簡(jiǎn)單的垂直位置測(cè)量。也可以安裝在平行于直線光柵尺的方向上，例如LIP 6000 Dplus，在直線軸方向上連續(xù)進(jìn)行垂直測(cè)量。GAP 1081的鏡面長(zhǎng)度可達(dá)3 m。如果在鏡面上使用兩個(gè)讀數(shù)頭，則可同時(shí)測(cè)量直線軸的俯仰和偏向。
海德漢MRP 8081 Dplus：充分發(fā)揮編碼器的精度優(yōu)勢(shì)
盡管編碼器提供認(rèn)證的精度和精度檢定圖，但在應(yīng)用中也可能無(wú)法充分發(fā)揮精度優(yōu)勢(shì)。原因多種多樣，特別是編碼器被安裝在剛性不足的部件上時(shí)。MRP 8081 Dplus提供可轉(zhuǎn)移精度，確保在應(yīng)用中最大限度達(dá)到的精度。此技術(shù)使用了以下特性：
海德漢高剛性的軸承
四個(gè)讀數(shù)頭
為控制系統(tǒng)提供全套校準(zhǔn)數(shù)據(jù)
MRP 8081 Dplus提供這些特性，在給定安裝條件、擺動(dòng)負(fù)載或其它外部條件下，例如振動(dòng)、突發(fā)的機(jī)械負(fù)載和溫度波動(dòng)，系統(tǒng)精度可達(dá)±0.2角秒。提高精度和工作性能，在不犧牲精度的條件下達(dá)到更高電機(jī)轉(zhuǎn)速。
除高精度角度測(cè)量外，MRP 8081 Dplus的四個(gè)讀數(shù)頭還能測(cè)量軸的徑向?qū)蛘`差。未來(lái)，專用的電子電路可分析四路讀數(shù)頭信號(hào)，補(bǔ)償這些誤差。
重負(fù)載軸：不受齒槽扭矩或徑向力影響
海德漢MRP角度編碼器模塊與ETEL力矩電機(jī)珠聯(lián)璧合共同打造平滑性的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)。無(wú)論齒槽扭矩還是徑向力對(duì)軸承的導(dǎo)向精度都沒(méi)有影響。我們還提供SRP 5000角度編碼器模塊，這是一款緊湊、超薄和高剛性的角度編碼器。其部件的高剛性還能確保在變化的負(fù)載條件下達(dá)到一致的高精度。
HEIDENHAIN為高動(dòng)態(tài)性能旋轉(zhuǎn)軸開(kāi)發(fā)敞開(kāi)式編碼器：ERO 2000，現(xiàn)在提供多自由度技術(shù)的ERP 1080 Dplus
電子和半導(dǎo)體生產(chǎn)是高速發(fā)展的行業(yè)。HEIDENHAIN不斷開(kāi)發(fā)敞開(kāi)式編碼器，滿足高速發(fā)展要求。ERO 2000增量式角度編碼器就是這樣一款產(chǎn)品，這款編碼器專用于空間有限和高動(dòng)態(tài)性能的應(yīng)用，例如掃描振鏡。而且，ERP 1000精度高和分辨率高。ERP 1080 Dplus是此產(chǎn)品線中的一款產(chǎn)品，含四個(gè)讀數(shù)頭，其工作可靠性和安裝優(yōu)點(diǎn)與MRP 8081 Dplus角度編碼器模塊相同。
總線式工作的EnDat 3接口：高速，易用，經(jīng)濟(jì)
要實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的緊密集成，同時(shí)面向未來(lái)的數(shù)字化時(shí)代，包括總線式工作要求，EnDat 3是編碼器接口的理想選擇。EnDat 3可為自動(dòng)化系統(tǒng)減少連接電纜數(shù)量，可提供豐富的診斷功能，可實(shí)現(xiàn)更高安全性和可靠性。該接口提供通用型通信技術(shù)，可傳輸豐富的數(shù)據(jù)，不僅包括位置反饋數(shù)據(jù)，還包括傳感器數(shù)據(jù)、系統(tǒng)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)和自動(dòng)配置數(shù)據(jù)。
高動(dòng)態(tài)性能直驅(qū)電機(jī)的理想選擇：RSF靈活的模塊型光柵尺和編碼器
RSF的直線光柵尺和角度編碼器采用模塊化設(shè)計(jì)，應(yīng)用靈活，可輕松集成在應(yīng)用系統(tǒng)中。這些光柵尺和角度編碼器支持大量不同接口，可輕松連接常用的控制系統(tǒng)和支持不同的物理設(shè)計(jì)。其它獲益還包括寬松的安裝公差和易于安裝。RSF的全新MCR 16角度編碼器可達(dá)更高信號(hào)質(zhì)量。
LIC 3000：高動(dòng)態(tài)性能直線軸的海德漢敞開(kāi)式直線光柵尺
LIC 3000系列光柵尺是繼LIC 4000系列和LIC 2000系列敞開(kāi)式絕對(duì)直線光柵尺之后的又一個(gè)產(chǎn)品線。LIC 3000測(cè)量步距僅10 nm，運(yùn)動(dòng)速度可達(dá)600 m/min。LIC 3000直線光柵尺可進(jìn)行直線軸高動(dòng)態(tài)性能和高精度位置測(cè)量，測(cè)量長(zhǎng)度可達(dá)10 m。
LIC 3000的大型掃描場(chǎng)可有效提高抗污性能。測(cè)量基準(zhǔn)的局部污染對(duì)信號(hào)質(zhì)量和測(cè)量穩(wěn)定性的影響十分有限。由于LIC 3000系列敞開(kāi)式直線光柵尺動(dòng)態(tài)性能高，測(cè)量長(zhǎng)度大和堅(jiān)固耐用，因此，這款光柵尺應(yīng)用靈活，在更多的應(yīng)用中都能充分發(fā)揮LIC光柵尺的優(yōu)勢(shì)。
超薄直線光柵尺：NUMERIK JENA的LIKgo和LIKselect
NUMERIK JENA LIKgo和LIKselect敞開(kāi)式直線光柵尺是狹小安裝空間和高精度應(yīng)用的理想選擇。
標(biāo)準(zhǔn)型的LIKgo光柵尺的突出特點(diǎn)是體積小，重量輕。讀數(shù)頭尺寸僅28 mm x 13 mm x 7.5 mm和重量?jī)H10 g。這款光柵尺采用新開(kāi)發(fā)的20 µm柵距的兩場(chǎng)掃描技術(shù)，測(cè)量步距可達(dá)78.125 nm的精度，并提供高質(zhì)量信號(hào)和優(yōu)異的抗污性能。
為滿足量身定制要求，LIKselect光柵尺結(jié)合NUMERIK JENA的Kit L系列優(yōu)點(diǎn)，可以靈活配置編碼器功能特性，滿足個(gè)性化的應(yīng)用需求。
海德漢新一代電子和半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)
